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PCE-6V小型等離子清洗機

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更新時間：2023-02-06 14:30:07瀏覽次數：261次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

詳細介紹

產品簡介：PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發生技術、計算機控制技術、軟件編程技術，采用氣體作為清洗介質，有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵，清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，可短時間內清洗掉有機污染物，清洗程度可達到分子級。PCE-6V小型等離子清洗機的樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現對樣品的離子蝕刻。此外，其可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。設備體積小，操作簡單，應用廣泛。

產品名稱	PCE-6V小型等離子清洗機
產品型號	PCE-6V
主要特點	1、采用氣體作為清洗介質，避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。 2、可短時間內清洗掉有機污染物。 3、清洗程度可達到分子級。 4、可在特定條件下根據需要改變某些材料表面的性能。 5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。 6、樣品臺可選配加熱功能，可加負偏壓，用以實現離子蝕刻。 7、廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。
技術參數	1、電壓：AC220V 10A 2、消耗功率：<500W（包括真空泵） 3、RF電源：輸出功率100W，輸出頻率13.56MHz 4、腔體：Ø190mm×98mm 5、石英管：Ø180mm×55mm，壁厚7mm 6、內腔：Ø165mm×55mm 7、清洗電極：Ø120mm 8、樣品臺：Ø150mm，有效尺寸Ø140mm 9、樣品臺與電極間距：15mm-50mm可調 10、抽氣管：Ø12mm 11、極限真空度：0.1Pa 12、工作真空度：60Pa-500Pa 13、氣路數量：2路（選裝） 14、流量控制器數量：1、2 15、流量顯示儀：2通道 16、氣路接口：Ø6mm 17、加熱樣品臺：Ø140mm，加熱樣品溫度RT-600℃±1℃（選裝） 18、冷卻水壓力：0.2KPa-0.4KPa 19、工作環境：溫度5℃-35℃，濕度<80%（相對濕度）不結露，海拔高度0-2000m
產品規格	尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵），重量：20kg（不含真空泵）
可選配置	1、加熱樣品臺 2、流量控制器（量程10、50、100，可增加通道數≤2）