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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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更新時間：2022-10-06 12:37:07瀏覽次數：258次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

詳細介紹

產品簡介：VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″，放置樣品的直徑為Ø50mm，加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實驗室制備復膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設備進行控制，操作方便直觀。該機設備小巧，占用實驗室空間少，操作簡單，應用廣泛。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。

產品型號	VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。 2、可控參數包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。 3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。 4、已通過CE認證。
技術參數	1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2、輸出功率：1600VDC 50mA（電流） 3、石英罩：Ø160mm×120mm 4、樣品臺：Ø50mm（可選購加熱型樣品臺，溫度可到500℃；最長濺射時間不可超過5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 6、進氣口：裝有精密可調針閥，以實現方便的調節進氣量 7、靶材：尺寸直徑Ø47mm，厚度0.1mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導體、一些輕　　金屬、Al、Zn、C等
產品規格	尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg
可選配件	1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺