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技術文章

MLase MLI準分子激光器 波長為 193 nm 或 248 nm

閱讀:788          發布時間:2022-12-5

MLase MLI準分子激光器

MLI 系列由具有直接波長的準分子激光器組成,適用于工業應用。當然,我們可以調整我們的基本設備以滿足您的個性化需求。
MLI-200 / 500 / 1000 準分子激光器
MLase 的現代緊湊型 MLI 準分子激光器是波長為 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,具有高達 16 mJ 的高脈沖能量和高達 1,000 Hz 的脈沖重復頻率。
它們是市場上使用壽命最長、可靠性最高、運營成本低的獨立設備。它們均勻的鋼型材和能量穩定性使它們非常適合要求苛刻的應用。
我們的LC準分子激光系統還能夠進行主動水冷卻(使用生活用水或外部熱交換器;無需純凈水),以實現穩定的連續運行。

 

MLI準分子激光器
MLI 500 KRF
MLI=類型,500 =最大重復率; KrF = 波長 248 nm;
MLase  MLI-200 / 500 / 1000
主要特征
剛性設計
電暈預電離
固態電路
管技術
能量監視器 RoHS,CECDRH 合規
緊湊型準分子激光單相

 

產品優勢
高可靠性
均勻的光束輪廓
即時可用,不老化
管子全金屬密封
數十億個脈沖的延長壽命
能量穩定

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